High-quality laser slicing of single-crystal semiconductors guided by energy-dependent phase transition and crack propagation: A 4H-SiC case study

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标题	High-quality laser slicing of single-crystal semiconductors guided by energy-dependent phase transition and crack propagation: A 4H-SiC case study 相关领域材料科学切片激光器半导体工作（物理）相（物质）半导体激光器理论光学相变光电子学有限元法
网址	https://doi.org/10.1016/j.ijmachtools.2026.104365
DOI	10.1016/j.ijmachtools.2026.104365 doi
其它	期刊：International Journal of Machine Tools & Manufacture 作者：Zelong Qing; B. J. Liu; Yaoen Luo; Yi Zhang 出版日期：2026-01-06
求助人	超帅悟空在 2026-02-04 10:44:36 发布自河北，悬赏 10 积分
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