Ultrafast laser-induced internal modifications and cross-scanning strategy for material-efficient 4H-SiC slicing

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标题	Ultrafast laser-induced internal modifications and cross-scanning strategy for material-efficient 4H-SiC slicing
网址	https://doi.org/10.1364/oe.573504
DOI	10.1364/oe.573504 doi
其它	期刊：Opt Express 作者：Huang Y, Huang Y, Zeng H, Ren Q, Hu W, Xie X 出版日期：2025-11-01
求助人	阿喜在 2026-08-26 20:52:19 发布自广东，悬赏 10 积分
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