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 Cyclic Etching of SiGe/Si Multilayers with Fluorine Chemistry for 3D DRAM Applications 相关领域
德拉姆
蚀刻（微加工）
材料科学
化学
氟
纳米技术
光电子学
化学气相沉积
化学工程
工作（物理）
动态随机存取存储器
沉积（地质）
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