碳纳米管
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
化学工程
纳米技术
化学
化学气相沉积
工程类
作者
Sergey V. Bulyarskiy,M. S. Molodenskiy,П. Е. Львов,Alexander A. Pavlov,Yuri V. Anufriev,Yu. P. Shaman,Georgy G. Gusarov,Kirill A. Modestov,А. В. Сыса,A. M. Shevchenko
出处
期刊:Vacuum
[Elsevier BV]
日期:2025-03-01
卷期号:: 114242-114242
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114242
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