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Effect of Post-Annealing Conditions on Cu-Cu Wafer Bonding Characteristics
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作者
Eun‐Jung Jang,
Young-Bae Park,
Sarah Pfeiffer,
Bioh Kim,
Thorsten Matthias,
Seungmin Hyun,
Hak‐Joo Lee
出处
期刊:
Journal of the Korean Physical Society
[Springer Science+Business Media]
日期:2009-03-14
卷期号:54 (3): 1278-1282
被引量:8
标识
DOI:10.3938/jkps.54.1278
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