SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Cu Layer thickness monitoring in CMP process by using eddy current sensor
过程(计算)
图层(电子)
涡流
涡流传感器
电流(流体)
环境科学
材料科学
计算机科学
工程类
电气工程
复合材料
操作系统
作者
Zilian Qu,
Qian Zhao,
Qiang Yu,
Dewen Zhao,
Hongkai Li,
Xinchun Lu,
Yonggang Meng
链接
ieee.org
求助该文献
最长约 10秒,即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起,本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
2025年影响因子查询已上线
(2025-6-18)
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
建议保存本图,每天支付宝扫一扫(相册选取)领红包
实时播报
Mr
发布了新的
文献求助
10
刚刚
无极微光
的
应助
被
zuijiasunyou
采纳,获得
20
1秒前
量子星尘
发布了新的
文献求助
10
2秒前
swallow
发布了新的
文献求助
10
3秒前
田様
上传了
应助文件
3秒前
一小只
完成签到,获得积分
10
4秒前
学术小菜鸟
关闭了
学术小菜鸟
的
文献求助
7秒前
隐形曼青
上传了
应助文件
7秒前
在我梦里绕
发布了新的
文献求助
10
8秒前
完美世界
的
应助
被
高贵火儿
采纳,获得
30
8秒前
swallow
完成签到,获得积分
10
10秒前
汉堡包
上传了
应助文件
11秒前
彪壮的元柏
完成签到,获得积分
10
11秒前
默客
发布了新的
文献求助
10
11秒前
CodeCraft
上传了
应助文件
11秒前
充电宝
的
应助
被
LL
采纳,获得
10
11秒前
赵油油
完成签到,获得积分
10
11秒前
Reybor
完成签到,获得积分
10
12秒前
打打
的
应助
被
lin319
采纳,获得
10
14秒前
懒得理
完成签到
,获得积分
10
14秒前
彪壮的元柏
发布了新的
文献求助
50
14秒前
聪明伊
完成签到,获得积分
10
15秒前
小刘要加油
发布了新的
文献求助
20
15秒前
kk
发布了新的
文献求助
10
16秒前
小王
完成签到
,获得积分
10
16秒前
Charon
发布了新的
文献求助
10
17秒前
完美世界
上传了
应助文件
18秒前
小蘑菇
的
应助
被
默客
采纳,获得
10
18秒前
浮游
上传了
应助文件
19秒前
Fnoopy
完成签到,获得积分
10
20秒前
少一点西红柿
完成签到
,获得积分
10
20秒前
英俊的铭
上传了
应助文件
22秒前
高贵火儿
发布了新的
文献求助
30
22秒前
大个
上传了
应助文件
24秒前
白鸽鸽
完成签到,获得积分
10
25秒前
密林小叶子
发布了新的
文献求助
10
25秒前
One
上传了
应助文件
26秒前
灰灰12138
完成签到,获得积分
10
26秒前
菲菲
的
应助
被
拉扣
采纳,获得
10
26秒前
默客
完成签到,获得积分
10
27秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Mentoring for Wellbeing in Schools
1200
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region
1061
Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd Edition
600
Atlas of Liver Pathology: A Pattern-Based Approach
500
A Technologist’s Guide to Performing Sleep Studies
500
EEG in Childhood Epilepsy: Initial Presentation & Long-Term Follow-Up
500
热门求助领域
(近24小时)
化学
材料科学
医学
生物
工程类
有机化学
生物化学
物理
纳米技术
计算机科学
内科学
化学工程
复合材料
物理化学
基因
遗传学
催化作用
冶金
量子力学
光电子学
热门帖子
关注
科研通微信公众号,转发送积分
5495477
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助?
4593110
关于积分的说明
14439988
捐赠科研通
4525934
什么是DOI,文献DOI怎么找?
2479795
邀请新用户注册赠送积分活动
1464594
关于科研通互助平台的介绍
1437441
今日热心研友
浮游
1706
17550
yznfly
31
2940
你嵙这个期刊没买
101
2230
无极微光
74
1760
ceeray23
196
freyaaaaa
28
1630
chenqiumu
92
640
寻道图强
33
1010
风中冰香
67
490
Momomo
1130
YifanWang
44
610
浮浮世世
1020
pluto
970
Mic
39
570
GingerF
950
Huzhu
34
580
Zx_1993
48
410
小青椒
800
BareBear
795
Maestro_S
36
400
sevenhill
31
410
邓佳鑫Alan
610
不安青牛
60
8R60d8
520
注:热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10