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抛光 计算 磁流变液 材料科学 表面粗糙度 机械加工 光学 均方根 表面光洁度 化学机械平面化 空间频率 声学 复合材料 物理 磁场 冶金 量子力学
作者
Wenqiang Peng,Shengyi Li,Chaoliang Guan,Yuan Li,Xudong Hu
出处
期刊：Optik [Elsevier BV]
日期：2017-11-09 卷期号：156: 374-383 被引量：31
标识
DOI：10.1016/j.ijleo.2017.11.055
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