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A Study of CVD of Gallium Nitride Films by In Situ Gas-Phase UV Spectroscopy

氮化镓 镓 气相 材料科学 原位 光谱学 相（物质） 氮化物 分析化学（期刊） 纳米技术 化学 物理化学 物理 有机化学 冶金 图层（电子） 量子力学
作者
Sergey Alexandrov,A. Y. Kovalgin,D. M. Krasovitskiy
出处
期刊：Journal de physique [Springer Science+Business Media]
日期：1995-06-01 卷期号：05 (C5): C5-190 被引量：4
链接
archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.fr hal.science psu.edu archives-ouvertes.frdoi.org
标识
DOI：10.1051/jphyscol:1995520
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