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Squeeze film air damping ratio analysis of a silicon capacitive micromechanical accelerometer

加速度计电容感应材料科学硅复合材料声学光电子学电气工程工程类计算机科学物理操作系统

作者

Yuming Mo,Lianming Du,Bingbing Qu,Bo Peng,Jie Yang

出处

期刊：Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Science+Business Media]
日期：2017-06-10 卷期号：24 (2): 1089-1095 被引量：11

标识

DOI：10.1007/s00542-017-3464-z

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