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Metal Deposition Using Electrochemical ALD

电化学 金属 沉积（地质） 材料科学 化学 纳米技术 化学工程 冶金 电极 工程类 地质学 沉积物 物理化学 古生物学
作者
John L. Stickney,Yong-Geun Kim,Deepa Vairavapandian,Chandru Thambidurai,Jay Kim,N. Jayaraju
出处
期刊：Meeting abstracts 日期：2006-06-30 卷期号：MA2006-02 (36): 1697-1697
链接
iop.orgdoi.org
标识
DOI：10.1149/ma2006-02/36/1697
摘要
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