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Femtosecond pulsed laser ablation of 3CSiC thin film on silicon

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作者
Yuanyuan Dong,Pal Molian
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Nature]
日期：2003-11-01 卷期号：77 (6): 839-846 被引量：67
标识
DOI：10.1007/s00339-003-2103-y
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