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Determination of Crosstalk in a Dual-axis Piezoelectric MEMS Mirror and Suppression with Feedforward Algorithms

串扰 前馈 微电子机械系统 压电 计算机科学 对偶（语法数字） 电子工程 算法 控制理论（社会学） 物理 声学 工程类 光电子学 控制工程 人工智能 文学类 艺术 控制（管理）
作者
Anna Li,Hao Huang,Pengcheng Zhang,Yongquan Su,Yonggui Zhang,Lihao Wang,Yichen Liu,Yang Wang,Zhenyu Wu
出处
期刊：IEEE Sensors Journal [IEEE Sensors Council]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1 被引量：5
标识
DOI：10.1109/jsen.2024.3447905
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