High polishing selectivity ceria slurry for formation of top electrode in spin-transfer torque magnetic random access memory

抛光 选择性 电极 泥浆 材料科学 旋转扭矩传递 扭矩 化学工程 化学 冶金 磁化 复合材料 磁场 催化作用 物理 热力学 物理化学 工程类 量子力学 生物化学
作者
Hao Cui,Jae-Hyung Lim,Jin-Hyung Park,Jea‐Gun Park
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:522: 212-216 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2012.09.044
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