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Fabrication of silicon carbide microchannels by thin diamond wheel grinding

材料科学 钻石 研磨 表面粗糙度 金刚石研磨 微通道 机械加工 碳化硅 脆性 陶瓷 砂轮 复合材料 冶金 纳米技术
作者
Yanlin Xie,Daxiang Deng,Guang Pi,Xiang Huang,Chenyang Zhao
出处
期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Nature]
日期：2020-09-26 卷期号：111 (1-2): 309-323 被引量：13
标识
DOI：10.1007/s00170-020-06085-0
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