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Study of SiO2 encapsulation for aluminum and phosphorus implant activation in 4H-SiC

作者

Feng Zhao,Mohammad Monirul Islam,Chih‐Fang Huang

出处

期刊：Materials Letters [Elsevier BV]
日期：2010-08-26 卷期号：64 (23): 2593-2596 被引量：8

标识

DOI：10.1016/j.matlet.2010.08.048

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