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Particle counts and size distributions after implantation with on-wafer graphite sources

石墨 材料科学 薄脆饼 粒子（生态学） 粒径 分析化学（期刊） 纳米技术 复合材料 化学工程 色谱法 化学 海洋学 地质学 工程类
作者
Michael Current,Hideto Fujibuchi,Takahiko Ido,Greg Lucchesi
出处
期刊：MRS Advances [Springer Science+Business Media]
日期：2022-12-28 卷期号：7 (36): 1253-1256
标识
DOI：10.1557/s43580-022-00460-7
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