High-performance solar-blind UV photodetector based on Ti3C2Tx MXene/α-Ga2O3 heterojunction

材料科学 光电子学 响应度 光电探测器 异质结 宽禁带半导体 化学气相沉积 紫外线 肖特基势垒 MXenes公司 带隙 半导体 肖特基二极管 工作职能 氮化镓 电场 暗电流 光探测 场效应晶体管 氧化物 石墨烯 欧姆接触 纳米技术 金属半导体结
作者
Jiahe Cao,Yizhang Guan,Houwei Chen,Zhigao Xie,Yan Wang,Jie Xue,Andeng Qu,Guofeng Hu,Weihua Tang,Zhiqiang Huang,Chee‐Keong Tan
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:128 (13)
标识
DOI:10.1063/5.0323532
摘要

The integration of two-dimensional MXenes with ultrawide bandgap semiconductors presents a novel pathway for high-performance optoelectronics. However, the coupling of Ti3C2Tx with the corundum metastable α-phase of gallium oxide (α-Ga2O3) with wider bandgap than conventional β-phase remains largely unexplored. In this work, we demonstrate a high-sensitivity solar-blind ultraviolet photodetector based on a Ti3C2Tx MXene/α-Ga2O3 heterojunction, fabricated via mist chemical vapor deposition (mist-CVD) and spray-coating techniques. The resulting device exhibits superior optoelectronic performance, achieving a remarkably high photoresponsivity of 31.1 mA/W and an ultralow dark current of 0.41 pA under 254 nm illumination. This enhanced performance is attributed to the formation of high-quality Schottky junction at the MXene and α-Ga2O3 interface, where a work function difference creates a built-in electric field that facilitates efficient carrier separations. Notably, the responsivity of this architecture surpasses that of state-of-the-art α-Ga2O3-based photodetectors, establishing the Ti3C2Tx/α-Ga2O3 heterostructure as a promising candidate for next-generation, low-power deep-UV sensing applications.
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