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作者
Andriy Hikavyy,Ivan Zyulkov,Hans Mertens,Liesbeth Witters,Roger Loo,Naoto Horiguchi
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2016-11-03 卷期号：70: 24-29 被引量：30
链接
zenodo.orgdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2016.10.044
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