Formation of Ti2AlC-based thin films via magnetron sputtering and annealing under vacuum

溅射 材料科学 溅射沉积 薄膜 退火(玻璃) 微晶 层状结构 扫描电子显微镜 粒度 散射 分析化学(期刊) 复合材料 冶金 光学 纳米技术 化学 物理 色谱法
作者
Nina Cherkasova,T.S. Ogneva,V. G. Burov,I. V. Sokolov,Ruslan Kuzmin,Roman Khabirov
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:737: 138953-138953 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2021.138953

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