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Enhancement of the dielectric constant of Ta2O5through substitution with TiO2

微电子电介质制作材料科学钽小型化钛相容性（地球化学）纳米技术高-κ电介质光电子学工程物理复合材料冶金病理替代医学工程类医学

作者

R. F. Cava,W. F. Peck,J. J. Krajewski

出处

期刊：Nature [Nature Portfolio]
日期：1995-09-01 卷期号：377 (6546): 215-217 被引量：209

标识

DOI：10.1038/377215a0

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