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Enhanced Fabrication and Assembly of 3-D Chiplets Based on Active Interposer With Frontside Via-Last TSVs 基于具有前侧通孔的有源中介层的三维小芯片的增强制造和组装
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制作
中间层
材料科学
光电子学
纳米技术
蚀刻(微加工)
病理
图层(电子)
医学
替代医学
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期刊:IEEE Transactions on Components Packaging and Manufacturing Technology 作者:Chengyi Liao; Huimin He; Fengman Liu; Xugang Wang; Rui Cao; et al 出版日期:2024-08-16 |
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