A molecular dynamics model for the interaction of energetic ions with SiOCH low-κ dielectric

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标题	A molecular dynamics model for the interaction of energetic ions with SiOCH low-κ dielectric
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/1.25127...
DOI	10.1063/1.2512700 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：V. V. Smirnov; A. V. Stengach; K. G. Gaynullin; V. A. Pavlovsky; S. Rauf; et al 出版日期：2007-03-13
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