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Use of boron heavily doped silicon slabs for gas sensors based on free-standing membranes 硼重掺杂硅片在基于独立膜的气体传感器中的应用
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期刊:Sensors and Actuators B Chemical 作者:L. Fonseca; J. Santander; R. Rubio; N. Sabaté; E. Figueras; et al 出版日期:2007-10-03 |
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