发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
Study of Atmospheric Pressure Plasma Temperature Based on Silicon Carbide Etching
基于碳化硅刻蚀的常压等离子体温度研究
相关领域
碳化硅 蚀刻（微加工） 感应耦合等离子体 分析化学（期刊） 体积流量 等离子体 大气压力 材料科学 等离子体刻蚀 反应离子刻蚀 薄脆饼 干法蚀刻 大气压等离子体 等离子体处理 化学 光电子学 纳米技术 冶金 热力学 图层（电子） 物理 地质学 海洋学 量子力学 色谱法
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/14/5/992/pdf?version=16830103...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov nih.gov nih.gov doaj.orgdoi.org
DOI
10.3390/mi14050992 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Shaozhen Xu; Julong Yuan; Jianxing Zhou; Kun Cheng; Hezhong Gan
出版日期：2023-05-02
求助人
oli 在 2025-12-06 12:07:12 发布自贵州，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Low-temperature dry etching
  2. Advanced Etching Techniques of LiNbO3 Nanodevices
  3. Chromium oxide as a hard mask material better than metallic chromium
  4. Dry etching for pattern transfer
  5. Investigations of dry etching in AlGaInP/GaInP using CCl2F2/Ar reactive ion etching and Ar ion beam ...
  6. Superfine IC geometries: Gas-plasma etching may supplant chemical etching in manufacturing high-perf...
  7. Dry etching utilizing showered electron beam assisted etching
  8. Dry Etching에 의해 제작된 실리콘 미세 구조물
  9. Electron cyclotron resonance-reactive CH/sub 4//H/sub 2//Ar with constant Ar flow for high etch rate...
  10. Introduction
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 1小时前

    Mic Mic Lv75 上传了文件

    待审核 Micromachines.pdf (2.93 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 1小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    12:07:17 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    12:07:13 科研通AI机器人（中国 香港）收到请求，开始寻找文献
    12:07:12 已向机器人发送请求

  • 1小时前

    oli oli Lv4 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
李爱国的应助被冷艳铁身采纳，获得10
1秒前
Leslie完成签到，获得积分10
1秒前
研友_LkDm3n发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
五口元完成签到，获得积分10
3秒前
peseverance完成签到 ，获得积分20
3秒前
坛子完成签到，获得积分10
4秒前
华仔的应助被闵SUGA采纳，获得10
4秒前
李明月完成签到，获得积分10
6秒前
山顶洞人发布了新的文献求助10
6秒前
7秒前
PangShuting发布了新的文献求助10
8秒前
直率忆梅发布了新的文献求助10
8秒前
10秒前
俊逸翠柏完成签到，获得积分10
11秒前
今后的应助被同城代打采纳，获得10
11秒前
搜集达人的应助被美丽晓蓝采纳，获得10
12秒前
cassie完成签到，获得积分10
12秒前
Bienk完成签到，获得积分10
13秒前
美丽小之发布了新的文献求助10
13秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
14秒前
寒假工完成签到 ，获得积分10
15秒前
16秒前
weibinhu发布了新的文献求助10
17秒前
歌安完成签到 ，获得积分10
17秒前
20秒前
Earnestlee完成签到，获得积分10
21秒前
XXXXL发布了新的文献求助10
21秒前
sajelsch发布了新的文献求助10
22秒前
鹿c3完成签到，获得积分10
23秒前
23秒前
24秒前
25秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
26秒前
谨慎的猫咪完成签到，获得积分10
26秒前
yuhuiwang完成签到，获得积分20
26秒前
27秒前
wangqingxia完成签到，获得积分10
28秒前
30秒前
30秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.).. Frederic G. Reamer 1070
Introduction to Early Childhood Education 1000
2025-2031年中国兽用抗生素行业发展深度调研与未来趋势报告 1000
List of 1,091 Public Pension Profiles by Region 871
Alloy Phase Diagrams 500
A Guide to Genetic Counseling, 3rd Edition 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 5419649
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4534895
关于积分的说明 14147178
捐赠科研通 4451527
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2441782
邀请新用户注册赠送积分活动 1433376
关于科研通互助平台的介绍 1410617
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通