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 Effect of inner crucible structure on oxygen transport and distribution in the continuous-feeding Czochralski growth of silicon crystal 内坩埚结构对连续加料直拉法生长硅晶体过程中氧传输和分布的影响
相关领域
坩埚（大地测量学）
硅
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：D. Li; Changzhen Wang; Chao Qi; Jiancheng Li; Zeqi Zhong; et al 出版日期：2025-06-01 |
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