Annealing effect on the Si-Ga2O3 thin films by PEALD for various applications with mechanism analysis

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标题	Annealing effect on the Si-Ga2O3 thin films by PEALD for various applications with mechanism analysis
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/6.00051...
DOI	10.1116/6.0005146 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A 作者：Jingxuan Wei; Yongjie He; Gui Chen; Rongxu Bai; Shen Hu; Qingqing Sun 出版日期：2026-03-02
求助人	赫尔坤兰在 2026-05-09 18:28:03 发布自福建，悬赏 10 积分
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