| 标题 |
Corner-focused evaluation of AI-based design-to-real prediction for FPD photomasks |
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10.1117/12.3116406
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| 其它 |
期刊:Photomask Japan 作者:Kun-Seok Lee; Hyeonguk Yeo; J. Heo; Hoon Kang 出版日期:2026-09-23 |
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(2025-6-4)