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 Effect of HCL on Surface Free Energy of SiC during CVD Trench Filling 相关领域
沟槽
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期刊：Materials science forum 作者：Kazuhiro Mochizuki; Shiyang Ji; Ryoji Kosugi; Yoshiyuki Yonezawa; Hajime Okumura 出版日期：2019-07-19 |
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