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Molecular dynamics simulations addressing atomic-scale core issues in chemical mechanical polishing and post-CMP cleaning: A concise review
解决化学机械抛光和CMP后清洗中原子尺度核心问题的分子动力学模拟：简明综述
网址
https://doi.org/10.26599/frict.2025.9441197
AI链接 sciopen.comdoi.org
DOI
10.26599/frict.2025.9441197 doi
其它 期刊：Friction
作者：Lifei Zhang
出版日期：2025-11-01
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感动的听荷 在 2025-12-30 14:57:38 发布自吉林，悬赏 10 积分
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