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标题
Lensless Through-Silicon Microscopy System for Precise Alignment in Photonic Integration Processes
相关领域
光子学 计算机科学 可扩展性 硅光子学 利用 自动化 材料科学 电子工程 显微镜 光电子学 干扰（通信） 纳米光子学 纳米技术 多路复用 系统集成 透明度（行为） 光学 硅 宽带 光子集成电路
网址
http://dx.doi.org/10.23919/empc63132.2025.11222432
AI链接 tuni.fidoi.org
DOI
10.23919/empc63132.2025.11222432 doi
其它 期刊：2025 25th European Microelectronics and Packaging Conference & Exhibition (EMPC)
作者：Aleksandr Vlasov; Igor Shevkunov; Karen Egiazarian; Andrei Gurovich; Denis Rozhkov; et al
出版日期：2025-09-15
求助人
开心德地 在 2026-11-10 07:33:03 发布自巴西，悬赏 10 积分
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