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Nitrogen‐Induced Microcrystalline‐to‐Nanocrystalline Structure Transition in Diamond Films Grown by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition: Comparison of N2 and NH3 Precursors 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜中氮诱导的微晶到纳米晶结构转变:N2和NH3前驱体的比较
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期刊:physica status solidi (a) 作者:Artem Martyanov; Ivan Tiazhelov; В. В. Воронов; Sergey Savin; А. Ф. Попович; et al 出版日期:2024-10-13 |
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