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 Plasma‐Enhanced Chemical‐Vapor‐Deposited SiOx(Ny)/n‐type Polysilicon‐on‐Oxide‐Passivating Contacts in Industrial Back‐Contact Si Solar Cells 工业背接触硅太阳电池中等离子体增强化学气相沉积SiOx（Ny）/n型氧化物上多晶硅钝化触点
相关领域
材料科学
化学气相沉积
氧化物
等离子体
多晶硅耗尽效应
分析化学（期刊）
光电子学
化学
冶金
电气工程
晶体管
栅氧化层
物理
环境化学
量子力学
工程类
电压
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期刊：Solar RRL 作者：Verena Mertens; Silke Dorn; Jonathan Langlois; Maximilian Stöhr; Yevgeniya Larionova; et al 出版日期：2024-01-30 |
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