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标题
In–Si–O thin-film transistors with atomic layer deposition-grown Al2O3 gate insulator
相关领域
材料科学 原子层沉积 光电子学 图层（电子） 薄膜晶体管 绝缘体（电） 晶体管 沉积（地质） 绝缘体上的硅 薄膜 纳米技术 硅 电气工程 电压 古生物学 工程类 生物 沉积物
网址
https://doi.org/10.1007/s10854-024-13831-7
DOI
10.1007/s10854-024-13831-7 doi
其它 期刊：Journal of Materials Science Materials in Electronics
作者：S. Arulkumar; S. Parthiban; R.D. Eithiraj
出版日期：2024-11-01
求助人
Wuwuwu_ 在 2026-01-06 21:51:40 发布自北京，悬赏 10 积分
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  • 1天前

    Wuwuwu_ Wuwuwu_ Lv5 求助人 发起了本次求助

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