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标题
The crystallographic change in sub-surface layer of the silicon single crystal polished by chemical mechanical polishing
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DOI
10.1016/j.triboint.2005.09.034 doi
其它 期刊:Tribology International
作者:J. Xu; J.B. Luo; L.L. Wang; X.C. Lu
出版日期:2007
求助人
Tayzon 在 2026-06-08 01:57:24 发布自吉林,悬赏 10 积分
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