Simulation and deposition experimental study of a microwave plasma chemical vapor deposition device with an oblique cone structure design

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标题	Simulation and deposition experimental study of a microwave plasma chemical vapor deposition device with an oblique cone structure design
网址	http://dx.doi.org/10.1116/6.0004980
DOI	10.1116/6.0004980 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Jibo Hu; Xiaoxiang Zhu; Shusen Zhao; Huibin Wang; Yapei Zhao 出版日期：2026-02-03
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