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Influence of Annealing Treatment on Stress and Piezoelectric Properties of High Temperature Alloy Rigid Substrate Piezoelectric Thin Film Sensors 退火处理对高温合金刚性衬底压电薄膜传感器应力和压电性能的影响
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期刊:Journal of Alloys and Compounds 作者:Hui Yu; Chenguang Guo; Guowei Mo 出版日期:2025-06-01 |
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