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标题
Direct Bonding of 4H-SiC and SOI Wafers for Radiation-Hardened Image Sensors
网址
DOI
10.4028/www.scientific.net/msf.963.726 doi
其它 期刊:Materials Science Forum
作者:Fumiaki Hasebe; T. Meguro; T. Makino; T. Ohshima; Yasunori Tanaka; et al
出版日期:2019-07-01
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