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标题
Direct bonding of LiNbO3 and SiC wafers at room temperature
LiNbO3与SiC晶片的室温直接键合
相关领域
材料科学 薄脆饼 空隙(复合材料) 无定形固体 晶片键合 透射电子显微镜 复合材料 纳米 光电子学 直接结合 纳米技术 结晶学 原子物理学 物理 化学
网址
DOI
10.1016/j.scriptamat.2019.08.027 doi
求助人
mhpvv 在 2025-10-04 13:41:16 发布自湖北,悬赏 10 积分
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