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标题
Second-order sliding mode control of a 2D torsional MEMS micromirror with sidewall electrodes
具有侧壁电极的二维扭转MEMS微镜的二阶滑模控制
相关领域
微电子机械系统 稳健性(进化) 控制理论(社会学) 计算机科学 滑模控制 衰减 计算机模拟 数字微镜装置 算法 材料科学 物理 光学 模拟 人工智能 光电子学 控制(管理) 生物化学 量子力学 基因 非线性系统 化学
网址
DOI
10.1109/3M-NANO.2013.6737431 doi
求助人
chouchou 在 2025-12-05 18:15:15 发布自陕西,悬赏 10 积分
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