Atomic-Scale Analysis of Carbon Behavior on Ru(0001), Ru(10—10), and Stepped Ru(10—11) Surfaces Using DFT: Implications for EUV Multilayer Mirror Performance

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标题	Atomic-Scale Analysis of Carbon Behavior on Ru(0001), Ru(10—10), and Stepped Ru(10—11) Surfaces Using DFT: Implications for EUV Multilayer Mirror Performance 使用DFT对Ru（0001）、Ru（10-10）和阶梯式Ru（10-11）表面上碳行为的原子尺度分析：对EUV多层镜性能的影响
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2025.114514
DOI	10.1016/j.vacuum.2025.114514 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Yu-Qi Chen; Zong-Biao Ye; Fang-Ling Yang; Hong-Rui Tian; Tao Gao; Fu-Jun Gou 出版日期：2025
求助人	肖遥在 2025-06-20 10:17:47 发布自四川，悬赏 10 积分
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