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Study on the deposition and low-temperature bonding of PVD SiCN thin film
网址
https://doi.org/10.1109/icept67137.2025.11157447
DOI
10.1109/icept67137.2025.11157447 doi
其它 期刊：
作者：Junyoung Choi; Suin Jang; Dongmyeong Lee; Hoogwan Lee; Sarah Eunkyung Kim
出版日期：2025-08-05
求助人
石本松 在 2025-11-20 11:41:27 发布自中国，悬赏 10 积分
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