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标题
12-inch growth of uniform MoS2 monolayer for integrated circuit manufacture
用于集成电路制造的12英寸均匀MoS2单层生长
相关领域
薄脆饼 单层 材料科学 纳米技术 半导体 化学气相沉积 化合物半导体 集成电路 晶体管 半导体器件制造 半导体工业 光电子学 电气工程 制造工程 工程类 图层(电子) 外延 电压
网址
DOI
10.1038/s41563-023-01671-5 doi
其它 期刊:Nature Materials
作者:Yin Xia; Xinyu Chen; Jinchen Wei; Shuiyuan Wang; Shiyou Chen; et al
出版日期:2023-09-28
求助人
1111111 在 2025-05-20 14:27:56 发布自北京,悬赏 10 积分
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