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Near-zero-adhesion-enabled intact wafer-scale resist-transfer printing for high-fidelity nanofabrication on arbitrary substrates
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DOI
10.1088/2631-7990/ad01fe doi
其它 期刊:International Journal of Extreme Manufacturing
作者:Zhiwen Shu; Bo Feng; Peng Liu; Lei Chen; Huikang Liang; et al
出版日期:2023
求助人
fantec 在 2026-03-22 21:30:04 发布自湖南,悬赏 10 积分
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