Highly response gas sensor based the Au-ZnO films processed by combining magnetron sputtering and Ar plasma treatment

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标题	Highly response gas sensor based the Au-ZnO films processed by combining magnetron sputtering and Ar plasma treatment 基于磁控溅射和Ar等离子体联合处理Au-ZnO薄膜的高响应气体传感器相关领域材料科学溅射沉积等离子体溅射光电子学响应时间半导体炸薯条极限（数学）检出限纳米技术计算机科学薄膜物理化学电信数学分析计算机图形学（图像）数学量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1088/1402-4896/acdeb3
DOI	10.1088/1402-4896/acdeb3 doi
其它	期刊：Physica Scripta 作者：Guodong Wang; Tingyu Chen; Lanlan Guo; Wei Wang; Haohan Wang; et al 出版日期：2023-06-15
求助人	Wil 在 2025-08-24 21:49:47 发布自江苏，悬赏 10 积分
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