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 Highly response gas sensor based the Au-ZnO films processed by combining magnetron sputtering and Ar plasma treatment 基于磁控溅射和Ar等离子体联合处理Au-ZnO薄膜的高响应气体传感器
相关领域
材料科学
溅射沉积
等离子体
溅射
光电子学
响应时间
半导体
炸薯条
极限（数学）
检出限
纳米技术
计算机科学
薄膜
物理
化学
电信
数学分析
计算机图形学（图像）
数学
量子力学
色谱法
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| 其它 |
期刊：Physica Scripta 作者：Guodong Wang; Tingyu Chen; Lanlan Guo; Wei Wang; Haohan Wang; et al 出版日期：2023-06-15 |
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Wil
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