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Characteristics of TiN thin films grown by ALD using TiCl4 and NH3 相关领域
锡
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材料科学
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期刊:Metals and Materials International 作者:Chisung Ahn; S. G. Cho; H. J. Lee; K. H. Park; Sohyeon Jeong 出版日期:2001-11-01 |
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