Experimental verification of sub-resolution grating on a low-n mask using high-NA extreme ultraviolet lithography - 科研通

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标题	Experimental verification of sub-resolution grating on a low-n mask using high-NA extreme ultraviolet lithography
网址	http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.25.4.041803
DOI	10.1117/1.jmm.25.4.041803 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：Inhwan Lee; Guillaume Libeert; Nick Pellens; Vicky Philipsen; Stefan De Gendt 出版日期：2026-08-04
求助人	李露露在 2026-09-23 14:57:43 发布自上海，悬赏 20 积分
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