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标题
On the Mechanism of Silicon Nitride Chemical Vapor Deposition from Dichlorosilane and Ammonia
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DOI
10.1149/1.1392615 doi
其它 期刊:Journal of The Electrochemical Society
作者:Anatoli Korkin; J. Vernon Cole; Debasis Sengupta; James B. Adams
出版日期:1999-11-01
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科研小趴菜 在 2026-10-24 16:22:40 发布自江苏,悬赏 10 积分
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