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Defect Density Reduction in 4H-SiC (0001) Epilayer via Growth-Interruption during Buffer Layer Growth 相关领域
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期刊:Solid State Phenomena 作者:Shiv Kumar; L. Bera; X. S. Nguyen; Wen-Dong Song; A. Lee; et al 出版日期:2025-09-10 |
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