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标题
Novel halogenated cyclopentadienyl hafnium precursor for atomic layer deposition of high-performance HfO2 thin film
用于高性能HfO2薄膜原子层沉积的新型卤代环戊二烯基铪前驱体
相关领域
原子层沉积 环戊二烯基络合物 铪 沉积（地质） 图层（电子） 吸附 材料科学 薄膜 化学工程 化学 无机化学 纳米技术 催化作用 物理化学 锆 有机化学 地质学 古生物学 沉积物 工程类
网址
https://doi.org/10.1039/d4ra05848h
AI链接 doi.org nih.govdoi.org
DOI
10.1039/d4ra05848h doi
其它 期刊：RSC Advances
作者：Sang-Wook Park; Yoona Choi; Sung Soo Park; Hayoon Lee; Kiho Lee; et al
出版日期：2024-01-01
求助人
bvbbbbc 在 2025-08-05 01:34:54 发布，悬赏 10 积分
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