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  Measurement of Ion Energy Distribution and Deposition of Ti Thin Films Using ABPPS Technology on Glass Substrate 用ABPPS技术测量Ti薄膜的离子能量分布和沉积
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期刊：Coatings 作者：Dae-Chul Kim; Young‐Woo Kim; Yong‐Hyun Kim; Jong‐Bae Park; Jongsik Kim; et al 出版日期：2021-07-28 |
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